フォトリソグラフィーを使用してシリコンやガラスにマイクロ流体流路を形成するプロセス

レーザー加工機を使ったマイクロ流体デバイスの製作

マイクロ流体力学は、マイクロスケールで流体を移動、混合、処理、分析する技術です。マイクロ流体デバイスで利用される最小サイズは通常50〜100µmですが、5µmにまで小さくすることもできます。これまで、マイクロ流体技術における最も商業的に成功した応用例としては、インクジェットプリンターヘッドが挙げられます。複数の分析機能が統合されたマイクロ流体デバイスは、従来技術よりも迅速に試験結果を提供できる安価なラボオンチップとして利用が進むことで、微生物学や臨床病理学の分野に革命をもたらしています。